Microscope électronique à balayage haute vitesse HEM6000

Pilote de numérisation haute vitesse Temps d'acquisition : 10 ns/pixel ; Vitesse d'acquisition maximale : 2 × 100 M pixels/s Système de filtration électronique Les signaux SE/BSE peuvent être commutés librement et le rapport de mélange des signaux est réglable. Système de déviation électrostatique haute vitesse Elle permet d'obtenir un mode grand champ haute résolution. Avec une taille de pixel de 4 nm, le champ de vision maximal atteint 32 μm × 32 μm. Technologie de décélération de l'étage d'échantillonnage Elle réduit la tension d'impact des électrons incidents et améliore simultanément l'efficacité de collecte des électrons recyclés. Objectif composé électromagnétique à immersion Le champ magnétique de la lentille d'objectif immerge l'échantillon, permettant d'obtenir une faible aberration et une haute résolution.