Système de mesure de topographie 3D confocale spectrale de la série MTS
La série MTS exploite une technologie confocale spectrale avancée pour la mesure de surface 3D sans contact, offrant une résolution exceptionnelle sur l'axe Z jusqu'à 20 nm. Dotée de plateformes à moteur linéaire d'une précision de 0,1 µm, de capacités de balayage automatisées et d'une compatibilité multi-matériaux, elle prend en charge diverses applications telles que l'inspection des plots de semi-conducteurs, la mesure des rainures et l'analyse des marques laser. Son logiciel propriétaire et ses algorithmes d'IA intégrés garantissent un traitement efficace des données et un reporting en temps réel. Elle est idéale pour le contrôle qualité de précision dans les secteurs de l'électronique, de l'automobile et des semi-conducteurs.
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Aperçu technologique
La série MTS représente une avancée majeure en métrologie de surface 3D. Elle utilise la technologie confocale spectrale pour établir une correspondance précise entre distance et longueur d'onde grâce aux principes de dispersion optique. Ce système de pointe permet la mesure de haute précision de surfaces de matériaux variés, y compris les matériaux transparents/opaques, les surfaces réfléchissantes et les échantillons colorés. Contrairement aux méthodes de mesure traditionnelles, le système MTS ne nécessite aucun balayage sur l'axe Z, ce qui permet d'obtenir des résultats plus rapides et plus précis.
La technologie de base repose sur un système optique sophistiqué où la lumière blanche est focalisée à différentes distances le long de l'axe optique, couvrant ainsi toutes les bandes du spectre visible au point focal. Cette approche novatrice permet au système de s'affranchir des limitations des techniques de mesure conventionnelles et d'offrir des performances supérieures dans des conditions de mesure complexes.
Principaux avantages technologiques
Capacités de mesure de haute précision
La série MTS offre une précision de mesure remarquable, avec une résolution sur l'axe Z de seulement 20 nm et une exactitude de ±80 nm. Le système intègre des échelles de diffraction de haute précision (0,1 µm) sur les axes X et Y, garantissant une précision de positionnement exceptionnelle. La technologie de capteur confocal spectral permet une mesure coaxiale, éliminant les effets d'ombre et autorisant les mesures sur des surfaces inclinées jusqu'à 45° pour les surfaces réfléchissantes et 80° pour les surfaces diffuses.
Système de mouvement avancé
Le système est doté d'une plateforme à quatre axes motorisée linéaire avec une course standard de 350 × 350 mm, capable d'atteindre des vitesses de balayage jusqu'à 80 mm/s. La précision de positionnement des axes XY atteint ±0,3 µm avec une répétabilité de ±0,15 µm, tandis que l'axe Z offre une course de 5 mm avec un positionnement de ±0,2 µm. Ce système de déplacement de haute précision et à grande vitesse améliore considérablement l'efficacité des mesures par rapport aux plateformes à vis classiques.
Compatibilité multi-matériaux
L'un des principaux avantages du système MTS réside dans sa capacité à mesurer divers matériaux sans nécessiter de réglages. Cette technologie est compatible avec les matériaux non transparents et transparents, les surfaces diffuses et réfléchissantes, les matériaux absorbants, les échantillons colorés et les surfaces rugueuses et polies. Cette polyvalence la rend adaptée à de nombreuses applications industrielles sans exiger de procédures de configuration complexes.
Composants et spécifications du système
Configuration du module optique
Le système offre de multiples options de configuration avec des plages de mesure de 0,2 mm à 10,6 mm, prenant en charge de 192 à 1 200 points par ligne. Le diamètre du spot peut atteindre 2 µm, offrant une excellente résolution latérale. Différents modèles répondent aux exigences d'applications spécifiques, avec des fréquences d'échantillonnage atteignant 36 000 Hz pour les applications à haute vitesse.
Capacités logicielles et d'analyse
Le système logiciel intégré offre des outils d'analyse complets pour les mesures 2D et 3D, notamment le calcul de la longueur, de la largeur, de la hauteur, de l'angle et du volume. Il prend en charge la génération automatisée de rapports dans de multiples formats et peut être intégré à la plateforme d'interconnexion de données Q-DTS et à la plateforme d'analyse d'images Avocado AI pour des fonctionnalités étendues.
Scénarios d'application
Industrie des semi-conducteurs
La série MTS excelle dans les applications semi-conducteurs, notamment la mesure de la hauteur des plots, l'analyse de la profondeur et de la largeur des rainures, et l'inspection des plaquettes. Sa haute précision et ses capacités en font la solution idéale pour le contrôle qualité dans les processus de fabrication et d'encapsulation des puces.
Fabrication électronique
Pour l'inspection des circuits imprimés et des composants électroniques, ce système assure une mesure fiable des tracés, de la qualité des soudures et de la coplanarité des composants. La méthode de mesure sans contact garantit l'intégrité des composants électroniques sensibles.
Ingénierie automobile et de précision
Cette technologie trouve des applications dans divers domaines de l'ingénierie de précision, notamment le contrôle des pièces automobiles, la mesure des composants mécaniques et l'évaluation de la qualité des surfaces. Sa capacité à traiter différents types de surfaces la rend précieuse pour de nombreuses applications de fabrication.
Personnalisation et intégration
La série MTS offre de nombreuses options de personnalisation, notamment des plateformes de plus grande taille et des fonctions logicielles spécialisées. Le système s'intègre aux systèmes MES (Manufacturing Execution Systems) existants via la plateforme Q-DTS, permettant l'échange de données en temps réel et l'optimisation des processus. Sa conception modulaire facilite les mises à niveau et l'extension futures en fonction de l'évolution des besoins de mesure.
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