Système de mesure topographique 3D série MTS
La série MTS offre une mesure de surface 3D rapide et précise grâce à la technologie confocale spectrale, avec une résolution de 20 nm sur l'axe Z. Elle est dotée d'une plateforme automatisée à 4 axes, d'une fréquence d'échantillonnage de 6 000 Hz et d'un logiciel intelligent intégrant Q-DTS/IA. Compatible avec de nombreux matériaux, y compris les surfaces transparentes, réfléchissantes et rugueuses, elle est idéale pour les industries des semi-conducteurs, de l'automobile et de l'électronique, permettant la détection de bosses, la mesure de rainures et l'analyse de surface avec une précision et une efficacité exceptionnelles.
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Technologie de mesure 3D révolutionnaire
La série MTS représente une avancée majeure dans la métrologie de surface 3D sans contact, grâce à une technologie confocale spectrale de pointe qui s'affranchit des limitations des méthodes de mesure traditionnelles. Contrairement aux microscopes numériques classiques nécessitant un empilement en profondeur ou aux systèmes confocaux laser à faible vitesse de balayage, le système MTS fournit des données de surface 3D complètes en un seul cycle de mesure rapide.
Avantages technologiques fondamentaux
Le capteur confocal spectral du système fonctionne selon les principes de la dispersion optique, établissant une correspondance précise entre la longueur d'onde et la distance pour une précision de mesure exceptionnelle. Cette technologie permet :
Mesure à haute vitesseFréquence d'échantillonnage de 6 000 Hz avec plateforme XY à moteur linéaire, fonctionnant 4 fois plus vite que les systèmes à vis conventionnels
Résolution supérieureRésolution sur l'axe Z avec une précision de ±80 nm, capable de mesurer des détails aussi petits que 2 μm.
Polyvalence des matériauxCompatible avec les matériaux transparents/opaques, les surfaces réfléchissantes et les finitions rugueuses sans traitement de surface.
Opération sans contact: Prévient l'endommagement des échantillons tout en préservant l'intégrité des mesures
Mesure topographique de la montre
Configuration système avancée
Excellence des systèmes optiques
Le système MTS intègre des modules optiques sophistiqués offrant de multiples options de configuration (MTS 01/02) et des plages de mesure allant de 0,2 mm à 10,6 mm. Il se caractérise par une collecte de points haute densité (192 à 1 200 points/ligne) et un contrôle précis du spot (intervalle de 5 à 10 µm), garantissant une couverture de surface complète.
Plateforme de mouvement de précision
Plateforme électrique à 4 axes avec une course de 350 × 350 mm
Précision de positionnement XY de ±0 et répétabilité de ±0,15 μm
Course de l'axe Z de 5 mm avec une précision de positionnement de ±0,2 μm
Numérisation à haute vitesse à 80 mm/s avec une stabilité exceptionnelle
Intégration logicielle intelligente
Le système intègre un logiciel d'analyse professionnel avec acquisition confocale spectrale, cartographie de navigation et capacités complètes de mesure 2D/3D. L'interconnexion de données Q-DTS (en option) et la plateforme d'intelligence artificielle Avocado permettent une analyse avancée et la génération automatisée de rapports dans de multiples formats (Word, Excel).
Applications industrielles
La série MTS remplit des fonctions essentielles de contrôle qualité dans de nombreux secteurs d'activité :
Semi-conducteurMesure de la hauteur des bosses, analyse des rainures des plaquettes, détection des défauts
ÉlectroniqueInspection des circuits imprimés, vérification de la coplanarité des composants
AutomobileAnalyse de la topographie de surface, mesure de précision des pièces
Dispositifs médicaux: Contrôle de la qualité de la surface de l'implant et des micro-caractéristiques
Recherche et développementCaractérisation des matériaux, études de surface
Avantages concurrentiels
Par rapport aux technologies alternatives, la série MTS présente des améliorations significatives :
vs. Microscopes numériques: Élimine les exigences d'empilement en profondeur, fournit de véritables données 3D
par rapport aux systèmes confocaux laser: Vitesses de mesure plus rapides, champ de vision plus large
par rapport à l'interférométrie en lumière blancheMeilleures performances sur les surfaces rugueuses, entretien réduit
par rapport aux méthodes traditionnelles: Précision accrue, fonctionnement automatisé, meilleure répétabilité
La conception modulaire du système permet une personnalisation pour répondre aux besoins spécifiques de chaque application, tout en garantissant la fiabilité requise en milieu industriel. Forte de 20 ans d'expérience et de près de 2 000 clients industriels, Lionhearted Technology assure que la série MTS répond aux exigences de mesure les plus strictes.
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