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Microscope électronique à balayage à émission de champ à faisceau d'ions focalisé DB550 Ga+
Le DB550 intègre une colonne FIB (faisceau d'ions focalisés) Ga+ et un MEB à émission de champ, doté d'une optique électronique « Super Tunnel » (lentille amagnétique à faible aberration), d'une résolution ionique de 3 nm à 30 kV et d'une résolution MEB de 0,9 nm à 15 kV. Il comprend un nanomanipulateur (précision ≤ 10 nm), un système d'injection de gaz (GIS unique, contrôle de température ±0,1 °C) et un sas de chargement compatible 8 pouces. Idéal pour la nanofabrication, l'analyse des défaillances des semi-conducteurs et la caractérisation des matériaux grâce à des flux de travail automatisés et des détecteurs extensibles (EDS/EBSD/STEM).
Microscope électronique à balayage à émission de champ à faisceau d'ions focalisé DB550 Ga+ Station de travail FIB-SEM intégrée Optique électronique à super tunnelSend Email Détails
